從氣派的大門進(jìn)入，寬敞的廠區(qū)沿中軸線一分為二。東側(cè)，是年產(chǎn)1200萬(wàn)枚半導(dǎo)體功率模塊覆銅陶瓷基板的富樂(lè)德半導(dǎo)體科技有限公司；西側(cè)，是年產(chǎn)30萬(wàn)枚高純精密石英半導(dǎo)體新材料的富樂(lè)德石英科技有限公司。兩個(gè)項(xiàng)目有一個(gè)共同的目標(biāo)：創(chuàng)下全球產(chǎn)能第一的新紀(jì)錄。而讓記者更為動(dòng)心的是凝聚在勇?tīng)?zhēng)第一背后的創(chuàng)新動(dòng)力與技術(shù)支撐。
從氣派的大門進(jìn)入，寬敞的廠區(qū)沿中軸線一分為二。東側(cè)，是年產(chǎn)1200萬(wàn)枚半導(dǎo)體功率模塊覆銅陶瓷基板的富樂(lè)德半導(dǎo)體科技有限公司；西側(cè)，是年產(chǎn)30萬(wàn)枚高純精密石英半導(dǎo)體新材料的富樂(lè)德石英科技有限公司。兩個(gè)項(xiàng)目有一個(gè)共同的目標(biāo)：創(chuàng)下全球產(chǎn)能第一的新紀(jì)錄。而讓記者更為動(dòng)心的是凝聚在勇?tīng)?zhēng)第一背后的創(chuàng)新動(dòng)力與技術(shù)支撐。
在先期投產(chǎn)的富樂(lè)德半導(dǎo)體科技和石英新材料兩個(gè)項(xiàng)目一期工程廠房入口處，均設(shè)有以科技藍(lán)為主色調(diào)的時(shí)尚展廳。半導(dǎo)體展示廳里，陳設(shè)在一只只玻璃罩內(nèi)的功率半導(dǎo)體基板旁，分別配有高鐵動(dòng)車、新能源汽車等各類模型，其用途與功能，讓人一目了然。石英新材料展廳里，一塊塊大小不等的高純石英石制品晶瑩剔透，形狀各異，令人產(chǎn)生無(wú)限遐想。富樂(lè)德石英科技有限公司事業(yè)部行政副總杭小杰介紹，這兩類產(chǎn)品富樂(lè)德均具有領(lǐng)先同行的核心技術(shù)。覆銅陶瓷基板是采用直接鍵合技術(shù)將鈾箔燒結(jié)在陶瓷表面而制成的電子基礎(chǔ)材料，可廣泛應(yīng)用于新能源汽車、軌道交通、航天航空、新能源材料、激光技術(shù)等技術(shù)領(lǐng)域。富樂(lè)德覆銅陶瓷基板覆銅厚度是同類產(chǎn)品的10倍，代表著國(guó)際先進(jìn)水平，上面可配載高精度的芯片，不僅機(jī)械強(qiáng)度高，而且各種性能優(yōu)越。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，高純石英新材料被廣泛地用于多晶轉(zhuǎn)化成單晶硅、清洗擴(kuò)散、離子注入鐘罩等半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項(xiàng)工序中，富樂(lè)德石英東臺(tái)生產(chǎn)基地主要是為電漿蝕刻設(shè)備居全球銷售之冠的半導(dǎo)體設(shè)備商美國(guó)Lam Research公司提供配套。
富樂(lè)德自動(dòng)覆銅陶瓷基板全流程生產(chǎn)線分隔在一條潔凈的參觀通道兩側(cè)。從原材料清洗到氧化處理、銅片陶瓷燒結(jié)鍵合，從貼膜、曝光到顯影蝕刻，再到后道處理，每一個(gè)流程、每一道工藝都在不經(jīng)意間體現(xiàn)出簡(jiǎn)潔、智能的工藝生產(chǎn)理念。通道南側(cè)的燒結(jié)車間里整齊排列著的一只只安安靜靜的白柜子，柜面是常溫，燒結(jié)爐爐溫高達(dá)1000多攝氏度，柜子上幾支不同顏色的管子導(dǎo)入各類“養(yǎng)分”，為柜內(nèi)銅、陶鍵合提供最佳環(huán)境氛圍。1號(hào)爐旁，簇?fù)碇蝗捍┲B體防塵服的技術(shù)人員，“他們是從日本來(lái)的專家，正在進(jìn)行智能生產(chǎn)線調(diào)試?！避囬g負(fù)責(zé)同志指點(diǎn)著給記者看。爐左側(cè)的小玻璃房里，有一個(gè)連著兩只機(jī)械臂的機(jī)器人，“一只手”有條不紊地把一張張銅板送進(jìn)燒結(jié)爐入口；右側(cè)，燒結(jié)好的半成品從爐內(nèi)緩緩?fù)瞥?，通過(guò)輸送帶送到爐的另一側(cè)，機(jī)器人伸出“另一只手”不慌不忙地取回。機(jī)器人下方，有一輛方方的小車，“他也是機(jī)器人，是跑腿的，送材料、運(yùn)半成品，都由他負(fù)責(zé)。”眼下，第一燒結(jié)爐生產(chǎn)線智能化完善已經(jīng)完成。按計(jì)劃，3月份，燒結(jié)車間所有的機(jī)械設(shè)備均要實(shí)施智能化改造。
石英加工歷經(jīng)下料、研磨、精磨、數(shù)控加工等工序，看似“粗”活的加工車間，卻講求精細(xì)?！斑@里的每一條生產(chǎn)線均以國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)為引領(lǐng)，新上生產(chǎn)線必須要得到合作商Lam公司的認(rèn)可后，方可上線運(yùn)行。目前新上3條洗凈線，實(shí)現(xiàn)與國(guó)際接軌的技術(shù)，保證產(chǎn)品質(zhì)量的國(guó)際性?！焙夹〗芙榻B。石英下料是將一塊原料按照尺寸切割成符合規(guī)格的石英片，只見(jiàn)一塊石英片在水柱的沖刷下不停旋轉(zhuǎn)，不見(jiàn)粉塵，未聞刺鼻味道。在石英生產(chǎn)線的數(shù)控加工車間里，成排擺放著一臺(tái)臺(tái)數(shù)控加工中心，透過(guò)其中一臺(tái)機(jī)器“胸口”上的玻璃可見(jiàn)里面，一塊圓形石英面板穩(wěn)坐基座，在水柱的沖刷下，不停旋轉(zhuǎn)打磨。數(shù)控中心在于強(qiáng)大的自我生產(chǎn)控制能力，工人放入石英片，輸入指令，石英片在數(shù)控加工中心走完一圈，出來(lái)就變成了成品。數(shù)控中心88臺(tái)機(jī)器都是進(jìn)口設(shè)備，“這些機(jī)器有著嚴(yán)格的坐標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)，哪怕挪動(dòng)一厘米，都會(huì)自動(dòng)停止工作，等待總部技術(shù)人員來(lái)校正后，方可使用?！?/span>
（轉(zhuǎn)自：東臺(tái)報(bào)業(yè)網(wǎng)）