セラミックス
フェローテック(中國)はセラミックス技術を基に、石英、セラミックス、シリコンパーツなどの半導體用の新材料を生産しています。
當社のシリコンパーツやボートは半導體製造裝置で幅広く使われています。シリコンボートは主に熱酸化、アニーリング、LPCVDなどの熱処理爐に使用され、シリコンフォーカスリングやシャワーヘッドは主にプラズマエッチング裝置に使用されており、 國內外の多くの半導體メーカーからその優(yōu)位性を高く評価されています。
Ferrotecは高性能な製品を検査する上で必要な、三次元測定器、プロジェクター、粗さ計、比抵抗計、LPC、その他の試験裝置等、様々な高精度の試験裝置を備えています。 また、50以上の高精度高性能なCNCマシニングセンタ、CNC旋盤、平面研削盤、ワイヤーソー、バンドソー、溝切機、センタレス研削盤等を稼動しています。自主開発の半導體裝置向けパーツの高純度洗浄ラインを備えており、7nmプロセスの要求をも満たせます。
