Ferrotec(中國(guó))は精密石英の分野に精密加工センターが有り、レーザーカッター、ウォータージェート、LAP/POLISH等の各種先進(jìn)の生産設(shè)備があります。10000クラス化學(xué)洗浄クリーンルーム及び100クラス純水洗浄室もあります。12"インチ,8"インチ及び8"インチ以下の半導(dǎo)體製造裝置用の石英製品を量産化することができます。また、次世代の18"インチの石英製品の研究開(kāi)発能力も持っています。
Ferrotec石英工場(chǎng)は顧客の要求に基づき最適な原材料を選定することが出來(lái)ます。主要な輸入材料の規(guī)格は網(wǎng)羅しています: MOMENTIVE(元GE)石英株式會(huì)社124、144、214、224(弱アルカリ性)、244 (低アルミニウム成分)、へラオスHSQ330、HSQ300、TSC-3。日本TOSOH OP-1、OP-3、ドイツQSIL PI、PN等
高精密検査測(cè)定設(shè)備が複數(shù)臺(tái)あります。例えば、三次元測(cè)定器、スペクトル分析機(jī)、投影機(jī)、粗さ測(cè)定機(jī)、顕微鏡、厚さ測(cè)定機(jī)など。
各種高精度高性能の加工設(shè)備が二百臺(tái)以上もあります。例えば、マシニングセンター、NC旋盤(pán)、平面研削機(jī)、ウオータージェート、レーザー切斷機(jī)、,ワイヤソ―,バンドソー、大型ラジアルボール盤(pán)、円筒機(jī)、センタレス研削機(jī)、旋盤(pán)機(jī)などの高精度汎用機(jī)。また自主開(kāi)発の自動(dòng)洗浄ラインも多數(shù)あります(內(nèi)1ラインは世界最先端の自動(dòng)洗浄ラインです)。自動(dòng)精密焼成機(jī)も數(shù)種類(lèi)あります。