“我們通過不斷的技術(shù)創(chuàng)新升級(jí)，實(shí)現(xiàn)了技術(shù)升經(jīng)的自我超越。”8月25日，寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司（簡(jiǎn)稱中欣晶圓）相關(guān)負(fù)責(zé)人浩育洲指著陳列廳一排硅片自豪地說。寧夏中欣晶圓經(jīng)過持續(xù)創(chuàng)新發(fā)展，成為目前國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的半導(dǎo)體大晶圓片生產(chǎn)商。
在這個(gè)信息化高度發(fā)達(dá)的時(shí)代，由晶圓制成的芯片可謂是智能產(chǎn)品的“心臟”。小到太陽(yáng)能電池、傳感器，大到智能家電、無人汽車都可見它的身影。半導(dǎo)體材料的生產(chǎn)中，硅片的占比最大，硅片帶動(dòng)了整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。近10年來，寧夏中欣晶圓堅(jiān)持在銀川經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)深耕，先后投入10億元，打造“中國(guó)芯”。而早在兩年前，寧夏中欣晶圓就實(shí)現(xiàn)了12英寸半導(dǎo)體大硅片晶棒的量產(chǎn)，并在行業(yè)發(fā)展著發(fā)揮著重要的支撐作用。
當(dāng)天，記者在生產(chǎn)車間里看到，幾十臺(tái)機(jī)器“轟隆隆”的高分貝震蕩人耳膜。拉晶、晶棒、截?cái)?、滾磨、成品，經(jīng)過6道工序，才能最終生產(chǎn)出一條漂亮的硅棒。“中國(guó)市場(chǎng)一直對(duì)大尺寸半導(dǎo)體晶圓的需求量很大，但國(guó)內(nèi)現(xiàn)在只能滿足4-6英寸的晶圓片，8英寸以及高端的12英寸大晶圓片自主供應(yīng)能力弱，主要依賴進(jìn)口。”浩育洲說。為此，中欣晶圓瞄準(zhǔn)了這一市場(chǎng)，累計(jì)投入研發(fā)創(chuàng)新資金3000萬元，高薪聘請(qǐng)海外專家來給員工們講課，同時(shí)，定期派專業(yè)技術(shù)人員出外學(xué)習(xí)，通過不斷創(chuàng)新來填補(bǔ)國(guó)內(nèi)大尺寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。
“目前我們已研發(fā)了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的40-16nm制程8英寸半導(dǎo)體拋光片制造技術(shù)，并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化?！焙朴拚f，公司將通過開展高品質(zhì)半導(dǎo)體硅片的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，建成國(guó)際先進(jìn)水平的大尺寸半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)化、創(chuàng)新研究和開發(fā)基地。
如今，寧夏中欣晶圓實(shí)現(xiàn)大尺寸硅片的量產(chǎn)，已擁有國(guó)內(nèi)先進(jìn)的8英寸及12英寸集成電路大硅片生產(chǎn)線，可年產(chǎn)480萬片8英寸半導(dǎo)體單晶硅片、240萬片12英寸半導(dǎo)體單晶硅片，8英寸半導(dǎo)體單晶硅片占國(guó)內(nèi)一半市場(chǎng)份額。（寧夏日?qǐng)?bào)記者 趙磊 文/圖）