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石英坩堝
Thermoelectric semiconductor cooler
石英坩堝
純度高且耐熱性強(qiáng)的石英坩堝在單晶硅的拉制過程中是必不可少的部件。石英坩堝的性能對單晶硅的成晶率有較大的影響,F(xiàn)errotec(中國)坩堝事業(yè)部一直圍繞著如何提高客戶的成晶率不斷的進(jìn)行技術(shù)革新,也取得了很大的突破。為了滿足不同客戶的多樣性生產(chǎn)需求,我司研發(fā)出四大系列石英坩堝,應(yīng)對客戶不同的拉晶工藝。石英坩堝尺寸我們目前可覆蓋14英寸到32英寸,并具備按照客戶要求定制更大尺寸的技術(shù)能力。后工序加工我們歷時三年開發(fā)出一套全自動化生產(chǎn)線,確保石英坩堝品質(zhì)穩(wěn)定。
石英坩堝系列
AQM-10系列,內(nèi)壁含有透明層的天然石英坩堝;AQM-20系列,高純天然石英坩堝,在AQM-10的基礎(chǔ)之上增加高純天然砂,內(nèi)表面純度較高;AQM-30系列,合成石英坩堝,內(nèi)表面純度更高,適用于高級別硅棒的拉制;AQM-40系列,內(nèi)表面結(jié)晶化的天然石英坩堝,適應(yīng)多次加料工藝,長時間使用。
AQM-10系列
適用于:太陽能單晶硅的拉制。
AQM-20系列
適用于:半導(dǎo)體和太陽能單晶硅的拉制,主推型號:AQM-21。
AQM-30系列
適用于:半導(dǎo)體單晶硅的拉制,主推型號:AQM-31。
AQM-40系列
適用于:太陽能和半導(dǎo)體單晶硅的拉制,主推型號:AQM-42。
資料下載
石英坩堝樣冊
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聯(lián)系電話:
057186696188
E-mail:
quartz@ferrotec.com.cn
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quartz@ferrotec.com.cn
為了達(dá)到透明中少氣泡化,F(xiàn)errotec在熔融工藝以及設(shè)備性能上面不斷探索,目前每個系列的主打型號均采用了少氣泡化的工藝。
透明層中少氣泡
關(guān)于內(nèi)表面結(jié)晶化,F(xiàn)errotec研發(fā)出新型涂層工藝,AQM-40系列坩堝即使用此工藝。
內(nèi)表面結(jié)晶化
關(guān)于高純度化,F(xiàn)errotec采用高純度原材料,各工序嚴(yán)控金屬元素污染源。后工序作業(yè)引進(jìn)全自動化生產(chǎn)線以及凈空房,保證生產(chǎn)過程不受雜質(zhì)污染,嚴(yán)格保證石英坩堝的純度。
內(nèi)表面高度純化
Ferrotec石英坩堝優(yōu)點
透明層中少氣泡和內(nèi)表面結(jié)晶化以及內(nèi)表面純化,這三個技術(shù)要點是Ferrotec 生產(chǎn)出高品質(zhì)石英坩堝的秘訣。 透明層中少氣泡可以讓坩堝適應(yīng)長時間的拉制; 內(nèi)表面結(jié)晶化,是在內(nèi)表面形成一層致密的結(jié)晶層,防止石英結(jié)晶體脫落,隔絕石英坩堝與硅液的反應(yīng),提升單晶硅的成晶率; 內(nèi)表面純化,會讓坩堝內(nèi)表面不易失透,不影響單晶硅的成晶。
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
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石英坩堝
半導(dǎo)體制造過程用;
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地
寧夏盾源聚芯半導(dǎo)體科技股份有限公司
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