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Ferrotec系列：硅熔接產(chǎn)品與硅制精密產(chǎn)品

Ferrotec（中國）硅熔接和硅精制品致力于為半導(dǎo)體硅片處理工藝中提供理想的硅片承載工具，減少硅片金屬污染，錯(cuò)位等缺陷，以及為半導(dǎo)體前沿工藝提供突破性解決方案。主要為硅片高溫處理和LPCVD沉積工藝，提供高純度的多晶硅舟，保溫筒，噴射管等；為半導(dǎo)體蝕刻機(jī)提供硅環(huán)，showerhead等產(chǎn)品。

SiFusion產(chǎn)品

應(yīng)用于各類半導(dǎo)體硅片表面處理工藝設(shè)備中，如氧化、退火、CVD工藝等。由于硅舟和硅片均使用高純硅材料，具有相同的物理性質(zhì)，因此可以避免因?yàn)闊崤蛎浵禂?shù)和熱導(dǎo)系數(shù)不同，造成的晶格錯(cuò)位，提升硅片良率。Ferrotec針對(duì)客戶工藝中的問題，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行獨(dú)特的設(shè)計(jì)，為客戶解決硅片背面劃傷，晶格位錯(cuò)，金屬污染和顆粒問題。

長齒舟

熔接多晶硅舟是為擴(kuò)散工藝設(shè)計(jì)的，可替代現(xiàn)有的石英和碳化硅產(chǎn)品，代表的是高純度高性能的技術(shù)。它對(duì)消除顆粒至關(guān)重要。消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構(gòu)中重要的載體.

短齒舟

消除這些影響以提高良率，使得硅熔接舟成為新一代集成電路架構(gòu)中重要的載體.

橫型硅舟

同時(shí)硅舟配套噴射管、保溫桶及內(nèi)管等輔助配套產(chǎn)品均可生產(chǎn)。

噴射管

可與硅舟配套使用

保溫桶

可與硅舟配套使用

擋片

硅部件產(chǎn)品

Ferrotec（中國）精密硅制品采用德國Wacker，美國REC半導(dǎo)體級(jí)別的Floatzone等材料，生產(chǎn)加工成各種類型的硅部件，為客戶的工廠的產(chǎn)能利用率、生產(chǎn)效率及產(chǎn)量提供更多優(yōu)勢。

硅聚焦環(huán)

主要規(guī)格有8寸與12寸，可按照客戶要求加工不同尺寸和外觀要求的硅環(huán)產(chǎn)品。應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片干法刻蝕工藝設(shè)備，F(xiàn)erroTec整合了硅材料拉制，產(chǎn)品加工和洗凈，使得產(chǎn)品更具有品質(zhì)，成本，交期和優(yōu)勢。