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漢虹12英寸半導體單晶爐:創(chuàng)新鑄就輝煌,榮譽再度加冕!
2024-05-28

    在這個科技進步飛速的時代,每一項創(chuàng)新都是對未來的堅定探索!上海漢虹精密機械有限公司的“12英寸半導體單晶爐”項目,憑借其卓越表現(xiàn),斬獲由國家科技主管單位權(quán)威認證、中國發(fā)明學會精心設置的“發(fā)明創(chuàng)業(yè)項目獎”銀獎殊榮,這是對技術(shù)革新能力的高度贊譽,也是產(chǎn)學研緊密結(jié)合、追求高質(zhì)量發(fā)展的亮麗標志!

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    在激烈競爭中,漢虹的12英寸半導體單晶爐自2248個項目中嶄露頭角,經(jīng)過嚴格篩選與評審,與全球前沿創(chuàng)新成果比肩,共繪科技創(chuàng)新的宏偉圖景。


    這一榮耀,緊接著“第34屆上海市杰出發(fā)明選拔賽金獎”及“第六屆中國(上海)國際發(fā)明創(chuàng)新博覽會金獎”之后,漢虹再次以其實力書寫輝煌,有力證明了中國半導體裝備制造行業(yè)的蓬勃興起!

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    2022年12月,12英寸半導體單晶爐從眾多創(chuàng)新成果中脫穎而出,一舉摘得“優(yōu)秀發(fā)明金獎”這一殊榮。該獎項由上海市總工會、上海市知識產(chǎn)權(quán)局、共青團上海市委員會、上海市科學技術(shù)協(xié)會及上海發(fā)明協(xié)會等多家權(quán)威機構(gòu)聯(lián)袂頒發(fā),其含金量不言而喻,是對獲獎技術(shù)在創(chuàng)新性、實用性和行業(yè)引領價值上的高度認可。

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    12英寸半導體單晶爐在國際發(fā)明創(chuàng)新展覽會上榮膺金獎,這一榮譽不僅是對技術(shù)創(chuàng)新力的高度認可,更是全球范圍內(nèi)該領域高水平的標志。該展覽盛會由商務部、科技部、國家知識產(chǎn)權(quán)局和上海市政府共同主辦,聯(lián)合國工業(yè)發(fā)展組織、聯(lián)合國開發(fā)計劃署、世界知識產(chǎn)權(quán)組織支持,是我國首個集技術(shù)展示和交易服務為一體的國家級、國際性、綜合性展會。 

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漢虹12英寸半導體單晶爐:超越局限,引領前行之路!

-1 技術(shù)躍進-

采用先進32英寸大尺寸熱場設計,結(jié)合GSim熱模擬技術(shù),熱場結(jié)構(gòu)革新,效率與節(jié)能并舉;

-2 純凈優(yōu)化-

內(nèi)置智能真空排氣系統(tǒng),自動化去除氧化物,確保生產(chǎn)流程更純凈;

-3 工藝革新-

獨有氣囊密封技術(shù)及水平開閉真空水冷旋板閥,解決工藝氣體控制難點,確保晶體直徑恒定,降低不良品產(chǎn)出;

-4 雙層防護-

創(chuàng)新雙層水冷套系統(tǒng),強化冷卻效能同時有效清除氧化物,促進晶體更優(yōu)成長;

-5 精確控制-

德國高精度激光液口距檢測反饋控制系統(tǒng),液面到熱屏距離精控誤差僅±0.5mm,為拉晶過程保駕護航;

-6 精妙升降-

應用高精度升降機模組驅(qū)動,實現(xiàn)四軸同步升降的磁場裝置,確保穩(wěn)定無振動,無異響,提升操作的可靠性;

-7 自動校準-

一體化重錘籽晶夾頭裝置,創(chuàng)新錐面接合設計,大幅提升籽晶與夾頭的貼合度,提升工作效率和產(chǎn)品品質(zhì),保證安裝可靠性和一致性。