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大硅片技術(shù)
大硅片技術(shù)
Ferrotec(中國(guó))12英寸大硅片技術(shù)的突破,尤其是拉單晶技術(shù)、拋光技術(shù),使得硅片生產(chǎn)能力進(jìn)一步升級(jí),逐步實(shí)現(xiàn)300mm半導(dǎo)體硅片20萬(wàn)片/月的目標(biāo)。
大硅片技術(shù)
Wafers for Semiconductor
技術(shù)設(shè)備能力 生產(chǎn)工藝 技術(shù)發(fā)展路線
  • 2002

    申和熱磁與日本東芝陶瓷、三井物產(chǎn)株式會(huì)社、和Ferrotec中國(guó)集團(tuán)共同投資的單晶硅生產(chǎn)線成立;并導(dǎo)入單晶硅晶圓生產(chǎn)技術(shù)

    6月,首臺(tái)硅片設(shè)備搬入上海廠

  • 2003

    硅片項(xiàng)目正式投產(chǎn)

  • 2004

    項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)

  • 2006

    12月,歷經(jīng)4年6個(gè)月,合計(jì)9次設(shè)備移設(shè)上海工廠,完成了5條生產(chǎn)線建立

  • 2010

    3月,首臺(tái)6寸單晶爐移設(shè)搬入上海工廠

    5月,實(shí)現(xiàn)點(diǎn)火開(kāi)工

    自主進(jìn)軍國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng),自主成功研發(fā)出了重?fù)桨雽?dǎo)體硅片

  • 2015

    寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司成立

    “高性能N型半導(dǎo)體硅片”項(xiàng)目被列入”2014年上海市引進(jìn)技術(shù)的吸收與創(chuàng)新計(jì)劃”

  • 2016

    5月,首條8寸線項(xiàng)目在上海工廠開(kāi)工,技術(shù)來(lái)源于Global Wafer Japan

    銀川單晶生產(chǎn)基地開(kāi)始建設(shè),日本單晶技術(shù)專家加入

    8寸COP Free以及退火硅片開(kāi)發(fā)成功

  • 2017

    上海申和熱磁電子有限公司大尺寸半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目建成投產(chǎn),同時(shí)由申和熱磁出資建設(shè)的寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司竣工

    共同構(gòu)建了年產(chǎn)180萬(wàn)枚8"半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片一期項(xiàng)目

    啟動(dòng)了投資60億元的“年產(chǎn)360萬(wàn)片8"半導(dǎo)體硅拋光片項(xiàng)目”和“年產(chǎn)240萬(wàn)片12"半導(dǎo)體硅拋光片項(xiàng)目”,逐步形成8"和12"半導(dǎo)體大硅片的規(guī)?;a(chǎn)

  • 2018

    為大尺寸半導(dǎo)體硅片項(xiàng)目配套的寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司在銀川經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)投資16億元,將建成國(guó)際先進(jìn)水平的8"和12"半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)基地

  • 2019

    上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司成立

    杭州工廠8寸、12寸半導(dǎo)體大硅片先后下線

    12寸大硅片技術(shù)完全依靠自身技術(shù)團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)

    11月,寧夏中欣晶圓榮獲“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證”

  • 2020

    8月,三地工廠名稱完成統(tǒng)一,并實(shí)現(xiàn)初步股改重組

    12月, 杭州中欣晶圓榮獲“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證”

    12月,12英寸第一枚外延片正式下線

  • 2021

    浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司及中欣晶圓日本公司成立

    8月,國(guó)內(nèi)首根12寸450kg投料晶棒完美問(wèn)世

    9月,杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司順利完成B輪融資,融資金額33億元人民幣

    10月,上海中欣晶圓榮獲“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證”

    10月,中欣晶圓半導(dǎo)體材料研究院正式成立

    11月,浙江麗水中欣晶圓外延項(xiàng)目建設(shè)工程開(kāi)工

    12月,寧夏中欣晶圓榮獲“自治區(qū)半導(dǎo)體級(jí)硅晶圓材料工程技術(shù)研究中心”認(rèn)定

    12月,中欣晶圓半導(dǎo)體12英寸大硅片二期擴(kuò)建項(xiàng)目竣工

  • 2022

    2月,杭州中欣晶圓在麗水經(jīng)開(kāi)區(qū)成立全國(guó)技工院校首家半導(dǎo)體工匠學(xué)院

    5月,浙江麗水中欣晶圓外延項(xiàng)目封頂儀式舉行