新材料技術(shù)
Ferrotec(中國)基于新材料技術(shù),專業(yè)生產(chǎn)精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半導(dǎo)體用新材料。
我們加工出來的硅部件產(chǎn)品和硅舟產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造領(lǐng)域,硅舟主要應(yīng)用于氧化、退火、CVD等工藝;硅聚焦環(huán)和分流盤主要應(yīng)用于等離子體刻蝕機(jī),贏得了國內(nèi)外半導(dǎo)體廠商的廣泛認(rèn)可。
我們擁有多臺(tái)高精密檢測設(shè)備——如:三坐標(biāo)測量儀、影像儀、粗糙度儀、電阻率測試儀、LPC等多種檢測設(shè)備。同時(shí)擁有50臺(tái)以上各類高精度高性能加工機(jī)床——如:數(shù)控加工中心,數(shù)控車床,平面研削機(jī),多線切割機(jī),鋸切割機(jī),套筒切割機(jī),無心研削機(jī)等高精度標(biāo)準(zhǔn)機(jī)床;同時(shí)擁有自主開發(fā)的半導(dǎo)體級別的高純洗凈線,能夠滿足先進(jìn)工藝的要求。