新材料技術
Ferrotec(中國)基于新材料技術,專業(yè)生產精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半導體用新材料。
Ferrotec(中國)在精密石英這一領域擁有精密加工中心、激光切割、水切割、LAP/POLISH等各類型先進生產設備,擁有10000級凈空化學洗凈及100級純水洗凈室??膳可a12",8"以及8"以下半導體裝置用石英制品,并具備下一代18"石英產品的研發(fā)能力。
Ferrotec石英工廠可以根據客戶要求選用合適的原材料。主要進口材料規(guī)格有:邁圖(原GE)石英公司生產的124、144、214、224(弱堿性)、244 (低鋁成分)、賀利氏HSQ330、HSQ300、TSC-3;日本TOSOH OP-1、OP-3;德國QSIL PI、PN等材料。
擁有多臺高精密檢測設備——如:三坐標測量儀、光譜分析儀、投影儀、粗糙度儀、顯微鏡、厚度儀等多種檢測設備。
擁有兩百臺以上各類高精度高性能加工機床——如:數控加工中心,數控車床,平面研削機,水切割機,激光切割機,多線切割機,鋸切割機,套筒切割機,圓筒機,無心研削機、旋盤機等高精度標準機床;同時自主開發(fā)的的有自動洗凈線多條,自動精燒機若干種。